Διαδικασία σύνθεσης σκόνης πυριτίου υψηλής καθαρότητας
Οι λεπτές μεμβράνες εναποτέθηκαν στα 1250 ~ 1350 ℃ με χημική εναπόθεση ατμών με γραφίτη νιφάδων ως υπόστρωμα και μεθυλοχλωροαλκάνιο/υδρογόνο ως αέριο αντίδρασης και αέριο φορέα. Στη συνέχεια, οι σκόνες πυριτίου υψηλής καθαρότητας με μέγεθος σωματιδίων 200 ~ 1200 μικρά ελήφθησαν με οξείδωση, πίκτωση και κονιοποίηση.
Αν και η σκόνη πυριτίου υψηλής καθαρότητας και υψηλής καθαρότητας παρασκευάστηκε με αυτή τη μέθοδο, η μετέπειτα διαδικασία ήταν περίπλοκη, η πρώτη ύλη ήταν ακριβή και η απόδοση χαμηλή.
W. Zhu et al. παρήγαγε σκόνες εξαιρετικά λεπτής και υψηλής καθαρότητας σε 1200 ~ 1400 ℃ με χημική εναπόθεση ατμών, χρησιμοποιώντας σιλάνιο και ακετυλένιο ως αέρια αντίδρασης και υδρογόνο ως αέριο φορέα.
Χρησιμοποιώντας εξαμεθυλοσιλάνιο ως πηγή αντίδρασης και υδρογόνο και αργό ως αέριο φορέα, Anaguta et al. επίσης παρασκεύασε εξαιρετικά λεπτή σκόνη πυριτίου υψηλής καθαρότητας και υψηλής καθαρότητας με χημική εναπόθεση ατμών σε 1050 ~ 1250.
Και οι δύο ομάδες χρησιμοποίησαν χημική εναπόθεση ατμών (CVD) για την παραγωγή σκόνης πυριτίου υψηλής καθαρότητας από πηγές οργανικού αερίου. Ωστόσο, είναι νανοκλίμακα εξαιρετικά λεπτή σκόνη που κατασκευάζεται. Αν και η καθαρότητα είναι υψηλή, δεν είναι εύκολο να συλλεχθεί και δεν είναι κατάλληλη για μαζική παραγωγή σκόνης πυριτίου υψηλής καθαρότητας υψηλής καθαρότητας, η οποία δεν ευνοεί την ανάπτυξη της μεταγενέστερης εκβιομηχάνισης.
Μια μέθοδος κατασκευής για αυτόματο κιβώτιο ταχυτήτων
Σε αυτή τη μέθοδο, σκόνη πυριτίας και μαύρο άνθρακα χρησιμοποιήθηκαν ως πρώτες ύλες και άλλοι ενεργοποιητές προστέθηκαν για να παράγουν σκόνη απευθείας σε 1000 ~ 1150. Η εισαγωγή καταλύτη θα επηρεάσει αναπόφευκτα την καθαρότητα και την ποιότητα της σκόνης πυριτίου υψηλής καθαρότητας.
Ως εκ τούτου, πολλοί ερευνητές έχουν προτείνει μια βελτιωμένη μέθοδο σύνθεσης αυτοδιάδοσης σε αυτή τη βάση. Η κύρια βελτίωση είναι να αποφευχθεί η εισαγωγή ενεργοποιητών και να διασφαλιστεί συνεχής και αποτελεσματική αντίδραση κατασκευής αυξάνοντας τη θερμοκρασία παραγωγής και συνεχή θέρμανση.
1999δη από το 1999, η Ιαπωνία με αιθυλικό αιθυλεστέρα ως πηγή πυριτίου, φαινολική ρητίνη ως πηγή άνθρακα, στο εύρος 1700 ~ 2000 ℃ χρησιμοποιώντας μέθοδο καύσης για την παραγωγή σωματιδίων μεγέθους σκόνης 10 ~ 500μm, το κλάσμα μάζας της περιεκτικότητας σε ακαθαρσίες είναι μικρότερο από 0,5 -10-6.
Ωστόσο, τα αντιδραστήρια αυτής της μεθόδου χρησιμοποιούν οργανική ύλη, επομένως το κόστος των πρώτων υλών είναι υψηλό, κάτι που δεν ευνοεί την παραγωγή μεγάλης κλίμακας σκόνης πυριτίου υψηλής καθαρότητας. Οι ερευνητές στο Ινστιτούτο Έρευνας Σιλικόνης της Σαγκάης, Κινέζικη Ακαδημία Επιστημών, παρήγαγαν κλάσματα μάζας 99,9 % και 99,999 % σε ατμόσφαιρα αργού σε υψηλές θερμοκρασίες.
Et al. χρησιμοποιείται ενεργός άνθρακας (μέγεθος σωματιδίων 20-100 μικρά) και γραφίτης νιφάδων (μέγεθος σωματιδίων 5-25 μικρά) ως πηγές άνθρακα (κλάσμα μάζας 99,9%) και πυρίτιο υψηλής καθαρότητας ως πηγές πυριτίου (μέγεθος σωματιδίων 10-270 μικρά, κλάσμα μάζας 99,999 %) αντίστοιχα.
Σκόνη πυριτίου υψηλής καθαρότητας παρασκευάστηκε σε κλίβανο πυροσυσσωμάτωσης υπό κενό κάτω από την ατμόσφαιρα αργού στα 1900. Τα αποτελέσματα δείχνουν ότι η καθαρότητα της σκόνης πυριτίου υψηλής κενού είναι καλύτερη από αυτή του αερίου φορέα. Επιπλέον, η σκόνη πυριτίου υψηλής καθαρότητας που παράγεται υπό υψηλό κενό χρησιμοποιείται για την ανάπτυξη ενός κρυστάλλου. Τα αποτελέσματα δείχνουν ότι οι καλλιεργημένοι μονόκρυσταλ έχουν υψηλή καθαρότητα και εξαιρετικές ημιμονωτικές ιδιότητες, οι οποίες πληρούν τις απαιτήσεις των ημιμονωτικών υποστρωμάτων για σχετικές συσκευές. Προοπτική τεχνολογίας παραγωγής σκόνης υψηλής καθαρότητας
Η βελτιωμένη αυτοπαραγωγική κατασκευή είναι μια κοινή μέθοδος για την καλλιέργεια μονών κρυστάλλων στο εργαστήριο λόγω του χαμηλού κόστους πρώτων υλών και της απλής διαδικασίας. Διαπιστώνεται ότι διαφορετικές παράμετροι διαδικασίας παραγωγής έχουν κάποια επίδραση στα προϊόντα παραγωγής.
Σήμερα, είναι απαραίτητο να ενισχυθεί η έρευνα στις ακόλουθες πτυχές:
1. Ο μηχανισμός κατασκευής σκόνης πυριτίου υψηλής καθαρότητας μελετήθηκε σε βάθος, ειδικά η βασική θεωρία του αποτελεσματικού ελέγχου παραμέτρων όπως το μέγεθος των σωματιδίων, το σχήμα, η κατανομή του μεγέθους των σωματιδίων και η καθαρότητα.
2. Πώς να ενισχυθεί περαιτέρω η έρευνα για τη βελτίωση της αυτόματης μετάδοσης σε σκόνη πυριτίου υψηλής καθαρότητας, προκειμένου να παρασκευαστεί σκόνη υψηλής καθαρότητας με καλή ποιότητα και υψηλή καθαρότητα, κατάλληλη για την ανάπτυξη ενός κρυστάλλου με βάση το χαμηλό κόστος και την απλή διαδικασία. βελτιώσουν αποτελεσματικά την ποιότητα της ανάπτυξης του υποστρώματος SiC, προωθούν την ανάπτυξη της βιομηχανίας εξοπλισμού εφαρμογών στην Κίνα.
